产品中心
SCMP系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
所属分类：
应用领域：主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。
如果您希望获取更多产品信息，欢迎联系122cc太阳集成游戏
产品描述
◆ 设备采用双线圈感应加热系统，可实现独立运动控制及功率加载，改善单线圈系统轴向径向温梯耦合严重的问题；
◆ 同时配备一体式焊接结构石英腔室、 离线式装料系统、高精度控温控压技术和感应线圈高精度安装与定位等技术，可实现设备高稳定性运行。
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◆ 同时配备一体式焊接结构石英腔室、 离线式装料系统、高精度控温控压技术和感应线圈高精度安装与定位等技术，可实现设备高稳定性运行。